東莞瑞沃半導體設備有限公司
專業從事靜電吸附技術研發/生產/應用的創新技術企業
眾所周知,靜電具備一定的吸附能力,在日常生活當中制造一些小尷尬和小麻煩。可你是否知道,靜電所生成的吸附力是否可以為我們所用?
一、技術概述
1、技術概述
靜電吸附系統利用電場力作為吸附力,通過柔性電極適應表面粗糙度,針對柔性靜電吸附方式特殊性,首先分析了靜電吸附電極的工作原理,并對其電場分布及吸附電容影響因素進行研究,對吸附電極優化設計方法給出指導。
2、工作原理
靜電吸附系統(ESC ADSORPTION SYSTEM),簡稱ESC SYSTEM,依據庫倫定律(兩個靜止的帶電粒子間的相互作用力)和洛倫茲定律(運動的電和在磁場中受的力),利用電磁力從而實現對物體有效地吸附。
ESC SYSTEM 靜電控制主機通過將直流電壓經過增壓、濾波及倍壓處理,轉化為高壓靜電,靜電高壓經過靜電吸附單元(以單極或雙電極輸入模式)形成靜電磁場,從而對物體(導體或非導體機制)進行靜電吸附。
3、結構示意
(1)利用位于主體上電源產生靜電作用力(而不是被動的方法,使用范德華力)。
(2)能夠快速開啟和關閉。
(3)利用導電和非導電基板上間的靜電作用力。
(4)與兩種不同導體基質所采用的吸附方式:
與導電基板→通過洛倫茲力夾取。
與非導電基板→通過極化作用力夾取。
二、產品優勢
采用靜電吸附方式,可以避免對物體表面的摩擦,從而避免損失物體表面;對不規則且表面粗糙物體進行吸附;吸附微元器件;吸附易碎物品。
1、 靜電吸附系統優點
許多機器采用的是機械運動或真空吸力,但這類機器體型很大,造價高昂,且耗電很高。傳統抓取搬運設備想要拿起特定的物體,還需要對它們進行配置。而如果對象是玻璃板這樣的脆弱物體,那它們也無能為力。
靜電吸附系統可舉起并運輸物體,其表面的電極可在幾乎任何物體之間產生并維持強大的吸附力,可以拿起任何物體,比如罐子、水果、盒子、箱子、玻璃板、硅膠板和纖維板。
2、 使用對比
ESC 靜電吸附系統可用于不規則、表面粗糙、無法磁性吸附或對表面清潔度要求較高的物體抓取。
三、靜電吸附系統運用
靜電吸附系統技術在研發之初,就致力于解決半導體及OLED 顯示屏行業在生產制造過程中由于生產工藝或流程的缺陷而導致產品表面損傷、硅膠真空吸盤老化積塵等問題。
科技不斷追加研發資金,從原材料的選擇及覆膜方式,到控制方式及輸出方式形成一套完善的技術積累。第三代靜電吸附系統不僅吸附力大幅度提高,吸附穩定性也得到大幅度提高,能夠最大限度的保證產品表面不會受到損害。
四、運用案例:
1、面板行業真空貼合;
2、半導體芯片封裝;
3、微電子集成電路;
4、精密光學元件制造;
5、太陽能光伏生產領域;
6、LED封裝。
五、 靜電吸附系統穩定性
靜電吸附系統由靜電吸附控制器(靜電高壓源)、靜電吸附單元(靜電磁場)構成及附件單元組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈沖保護;靜電吸附單元電極采用高頻導體,表面采用氮化鋁陶瓷覆膜,在保證輸出穩定,同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。